在单晶生产的过程中,真空泵的开始工作在抽真空过程中是1个必不可少的动作。也是最为简略和常规的操作要领。

但是,就是这个看似再也简稍不过的操作动作却常常会给正常拉晶带来大麻烦,有时甚至会带来拉不出单晶的严重后果。

主要有以下二种环境:

1、误操作--比如付室在进行换气操作后,根据正常的操作程序是应该先关闭付室泵后再给付室充氩气。但是,有时辰操作工在关闭付室泵时误将主室泵关闭了。而当发明关错后又匆匆忙忙开始工作主室真空泵,从而造成了炉内倒气。这样,真空排气嗓内的氧化物被吸到了炉内而影响拉晶。

2、应急办法不当--在单晶生产过程中难免会发生一些不测事件,比如各种原因的停电。当发生任何一种停电时真空泵就天然会因失电而遏制运转。有时辰,停电只是瞬间的或者停电时间很短,如果因突然停电对员工造成的恐慌还没有过去,就又恢复了供电。此时缺少经验的员工就会手忙脚乱地又开始工作真空泵。这样,也同样会造成炉内的倒气而发生氧化。

那末,为什么这种操作会使炉内发生氧化呢?大家懂得,真空泵的进气口前边安装有1个三通电磁阀。所说的的三通就是一路和单晶炉雷同,一路和真空泵雷同,还有一路是和大气雷同。

其事情原理是这样的:

1、当真空泵通电事情时,单晶炉和真空泵之间雷同,另外一头原本和大气雷同的口是被关闭的。这样就既能正常把炉内的气体抽出去,又不会使外面的大气跑到炉内。

2、当真空泵遏制事情时,通往单晶炉的口被关闭,真空泵和通往大气的一路被打开和大气雷同。这样就既能把通往单晶炉的口封闭住,又可使外面的大气正常步入真空泵的腔室内。

为什么在真空泵遏制事情时要让大气步入真空泵的腔室内呢?因为在真空泵运行时,腔室内是处在真空状态的,在这种状态下,如果真空泵遏制运行后再开始工作时泵内的滑阀容易和腔壁咬死而损坏真空泵。因此,当真空泵遏制运行时让真空泵腔室和外面的大气雷同就是为了让空气步入真空泵的腔室内,这样,在真空泵开始工作时就不会发生真空泵咬死的征象了。

那末,怎么来制止这种倒气的发生呢?

办法很简略:

1、要使每1个操作工都懂得和掌握处理应急事件的要领:就是在正常的生产过程中,不管是什么原因造成的真空泵遏制运行,都必须首先关闭真空管道上的阀门,等到供电恢复后都必须确认真空阀门已关闭后再开始工作真空泵。

2、加强操作工的应急处理的能力和心理本质能力。因为在许多环境下不是员工不懂得怎么操作,而是遇到紧迫环境时心慌手乱和应变能力不敷而造成的。

黄建中、2011、1、9