1、真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有规范试验罩,并按划定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。2、真空泵的极限压强泵的极限压强单位是Pa,是指泵在入口处装有规范试验罩并按划定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的最低压强。3、真空泵的抽宇量真空泵的抽宇量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。4、真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa,它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。5、真空泵的最大工作压强真空泵的最大工作压强单位是Pa,它是指对应最大抽宇量的入口压强。在此压强下,泵能持续工作而不恶化或损坏。6、泵的前级压强真空泵的前级压强单位是Pa,它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。7、真空泵的最大前级压强真空泵口最大前级压强单位是Pa,它是指跨越了能使泵损坏的前级压强。8、压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。9、抽速系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的定见抽速之比。10、何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的定见抽速之比。11、返流率泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按划定条件工作时,通过泵入口单位面积的泵流质量流率。十二、最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强单位是Pa。它是指在正常环境条件下,气镇泵在持续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。13、水蒸气允许量水蒸气的允许量单位是kg/h,它是指泵在正常环境条件下,气镇泵在持续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

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