抽气机的效用就是从真空室中抽除气体份子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置,选择真空系统时,应思量下述各点:

确定工作真空范围:

--起首必须检查确定每一种工艺要求的真空度。由于每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须当真研究确定之。

确定极限真空度

--在确定了工艺要求的真空度的基础上检查抽气机系统的极限真空度,由于系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。

被抽气体种类与抽气量

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。由于如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。同时必须思量确定合适的排气时间与抽气历程中产生的气体量。

真空容积

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。

思量达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

主抽气机的选择计算

S=2.303V/tLog(P1/P2)

其中:

S为抽气机抽气速率(L/s)

V为真空室容积(L)

t为达到要求真空度所需时间(s)

P1为初始真空度(Torr)

P2为要求真空度(Torr)

例如:

V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr

则:S=2.303V/t Log(P1/P2)

=2.303x500/30xLog(760/50)

=35.4L/s

当然上式只是理论计算结果,还有若干变量因素未思量进去,如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。实际上还应当将安全系数思量在内。

进修了