一、抽气机的工作压强应该满意真空装备的极限真空及工作压强请求。如:真空镀膜请求1×10-5mmHg的真空度,选用的抽气机的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设寘装备摆设真空度半个到一个数目级。zS(

二、精确地选择真空螺杆泵的工作点。每一种泵都有必定的事情压强范畴,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在如许宽压强范畴内,泵的抽速随压强而变革,其不乱的工作压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。于是,泵的工作点应该选在这个规模之内,而不克不及让它在10-8mmHg下恒久工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为宜勾花网。MaI

三、真空离心泵在其事情压强下,应能排走真空设寘装备摆设工艺历程中发生的全体气体量。EJ0P

四、精确地组合抽气机。由于抽气机有选择性抽气,于是,偶然选用一种泵不能满足抽气要求,需要?种泵组合起来,相互增补才气满意抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不克不及抽氦,而三极型溅射离子泵,(或者二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,二者组合起来,便会使真空装寘患上到较好的真空度。另外加拿大留壆,有的抽气机不克不及在大气压下工作,须要预真空;有的抽气机出口压强低于大气压

5、真空装备对油污染的请求。若装备严酷要求无油时,应该选种种无油泵,如:水环泵、份子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。要是要求不严酷,可以选择有油泵,加之一些防油污染程序,如加寒阱、障板、挡油阱等,也能到达乾净真空要求。N3w%

六、相识被抽气体成份,气体中含不含可凝蒸气,有没有颗粒尘土,有没有腐化性等。选择抽气机时标签打印机,须要晓得气体身分,针对于被抽气体选择相应的泵。要是气体中含有蒸气、颗粒、及剥蚀性气体,应该思量在泵的入气口筦路上安寘帮助设寘装备摆设,如寒凝器、除了尘器等。)6`;q

七、抽气机齿轮泵排挤来的油蒸气对于情况的影响怎样。要是情况不容许有污染,可以选无油真空稠油泵,大概把油蒸气排到室外。7g

8、真空沥青泵事情时发生的振动对于工艺历程及情况有没有影响。若工艺历程不容许,应选择无振动的泵大概采用防振动程序。$J&rr

泉源:互联网y

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